一、原理不同:金相光學(xué)顯微鏡是利用幾何光學(xué)成像原理進(jìn)行成像的，而掃描電鏡是利用細(xì)聚焦電子束在樣品表面掃描時(shí)激發(fā)出來(lái)的各種物理信號(hào)來(lái)調(diào)制成像的。用高能量電子束轟擊樣品表面，樣品表面被激發(fā)出各種物理信號(hào)，利用不同的信號(hào)探測(cè)器接受物理信號(hào)，再轉(zhuǎn)換成圖像信息。
二、光源不同:金相光學(xué)顯微鏡是采用可見(jiàn)光作為光源來(lái)成像，而掃描電鏡是采用電子束作為光源成像。
三、分辨率不同:金相光學(xué)顯微鏡受到可見(jiàn)光的干涉與衍射作用，分辨率只能局限于0.2-0.5um之間。掃描電鏡由于采用電子束作為光源，其分辨率可達(dá)到1-3nm之間，因此金相光學(xué)顯微鏡的組織觀察屬于微米級(jí)分析，掃描電鏡的組織觀測(cè)屬于納米級(jí)分析，掃描電鏡獲得的樣品信息更豐富。
四、景深不同:一般金相光學(xué)顯微鏡的景深在2-3um之間，因此對(duì)樣品的表面光滑程度具有*的要求，所以制樣過(guò)程相對(duì)比較復(fù)雜。掃描電鏡的景深則是金相光學(xué)顯微鏡的幾百倍，但由于其成像原理所限，要求樣品表面必須導(dǎo)電，因此要對(duì)樣品表面做導(dǎo)電處理。
通過(guò)以上對(duì)比，可以清楚的了解到，金相光學(xué)顯微鏡是用入射照明來(lái)觀察金屬樣品表面(金相組織)的光學(xué)顯微鏡。目前使用的金相光學(xué)顯微鏡都是將光學(xué)顯微鏡技術(shù)、光電轉(zhuǎn)換技術(shù)、計(jì)算機(jī)圖像處理技術(shù)結(jié)合在一起，能很方便的在計(jì)算機(jī)上觀察金相圖像，并利用軟件對(duì)金相圖譜進(jìn)行測(cè)量、分析、評(píng)級(jí)等。還可以對(duì)圖片進(jìn)行輸出、打印和存儲(chǔ)。金相光學(xué)顯微鏡相對(duì)掃描電鏡來(lái)說(shuō)，分辨率小，放大倍數(shù)小。但金相光學(xué)顯微鏡更易操作、視場(chǎng)較大、價(jià)格相對(duì)更低廉。
掃描電鏡是電子光學(xué)儀器。相比金相光學(xué)顯微鏡放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像的分辨率高、景深大，圖象富立體感，獲得樣品信息更豐富，在應(yīng)用上比金相光學(xué)顯微鏡更為深入和廣泛。
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